Silicio bloko paviršiaus poliravimas yra tiesiogiai susijęs su silicio plokštelių pjovimo kokybe. Poliravimo procese silicio blokas iš eilės poliruojamas per stambaus šlifavimo diską ir smulkų šlifavimo diską. Šiurkščiavilnių šlifavimo disko funkcija yra nupjauti pažeistą sluoksnį ant silicio bloko paviršiaus; smulkaus šlifavimo disko funkcija yra poliruoti ir pašalinti pažeisto sluoksnio pėdsakus ir šiurkštų smėlį ant silicio bloko paviršiaus.
1. Dabartinė būsena
Monokristalinio silicio plokštelių dirbtuvėje atidaroma mašina, skirta pagreitinti pjovimą lazeriu. Jei operatorius, atlikdamas realų darbą, bus šiek tiek neatsargus, silicio bloko pjovimo lazeriu kokybė bus prasta. Pagrindiniai taškai yra šie: lazeriu pjaustyto silicio bloko paviršiuje yra pjovimo žymių; silicio bloko dydis yra "išsipūtęs" viduryje; vietinio silicio bloko forma išlinkusi dėl atsijungimo. Šiuo metu dirbtuvėse esantis šepečio šlifavimo diskas nebegali visiškai pašalinti pjūklo žymių, atsiradusių dėl pjovimo lazeriu; „Išsipūtusio pilvo“ silicio blokui dėl riboto šepečio šlifavimo disko poliravimo galimybių jis negali pašalinti didelio dydžio viduryje. Šiuo metu skubiai reikia šlifavimo disko, turinčio stipresnę šlifavimo galimybę.
2. Įgyvendinti strategiją
Pagrindinis šiuo metu dirbtuvėse naudojamos poliravimo mašinos principas yra silicio bloko paviršiaus poliravimas per stambaus šlifavimo diską ir smulkų šlifavimo diską. Šiuo metu poliravimo mašinos šiurkščiavilnių šlifavimo ratas yra pakeistas deimantiniu šlifavimo disku, o smulkaus šlifavimo diskas silicio blokui poliruoti naudoja šepetinį šlifavimo diską.
Eksperimente naudojamas šlifavimo diskas su deimantine derva. Pjovimui gali būti naudojami visi natūralūs dirbtiniai deimantai. Deimantas yra itin stipri anglies forma. Jis yra amfifilinis geležies atžvilgiu ir greitai pažeidžiamas. Rišamoji medžiaga yra epoksidinė derva. Tipo rišiklis turi tam tikrą slopinimo poveikį vibracijai, kurią sukelia trinties gyvenime. Naudojant stiprią deimantinio šlifavimo rato šlifavimo galią, galima pašalinti kai kurias silicio bloko paviršiaus problemas, kurias sukelia pjovimo staklės, pavyzdžiui: lazeriu nupjauto silicio bloko paviršiuje yra pjovimo žymių; silicio bloko dydis yra "išsipūtęs" viduryje; Gerų rezultatų galima pasiekti sulenkus vietinio silicio bloko formą, atsiradusią dėl lūžimo, atliekant pagrindinį poliravimą, o tada naudojant smulkų šlifavimo diską, kad pagerintumėte silicio bloko paviršių.
