Naudojant katodinio lankinio plazminio nusodinimo technologiją. Katodinis lankinis plazminis nusodinimas yra palyginti nauja plonasluoksnė nusodinimo technologija, daugeliu atžvilgių panaši į jonų dengimą. Jo privalumai: didelis jonizacijos greitis išmetamų dalelių sraute, o šie jonizuoti jonai turi didelę kinetinę energiją (40-100eV).
Daugelis jonų pluošto nusodinimo pranašumų, tokių kaip geresnis sukibimas, padidėjęs būsenų tankis ir didelis reaktyvumas į sudėtinės plėvelės susidarymą, atsispindi katodiniame lankiniame plazmos nusodinime. Katodinis lankinis plazminis nusodinimas turi savo unikalių pranašumų, tokių kaip galimybė nusodinti ant sudėtingesnės formos pagrindų, pasižyminti dideliu nusodinimo greičiu, geru dangos vienodumu, žema substrato temperatūra ir lengvu junginių ar lydinių paruošimu su idealiais cheminiais santykiais. .
Dėl didelio srovės tankio katodo medžiaga išgarinama išgarinimo proceso metu, o gautas išgarinamas iš elektronų, jonų, centrinės dujų fazės atomų ir dalelių. Katodo lanko taške medžiaga jonizuojama beveik iš karto. Jonai išspinduliuojami beveik statmena katodo paviršiui kryptimi. Kai didelės energijos chromo jonai pateks į azotą, jie iš karto įvyks cheminė reakcija ir taps dujiniai. Chromo nitrido molekulės.
